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第311章 第一片亮起的硅(第3页)

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最细的线条只有十微米,差不多是头髮丝直径的七分之一。

“对准完成。”

陈启明直起身,揉了揉发酸的眼睛,“曝光参数?”

“能量300毫焦,时间8秒。”

张卫东看著刚改造完的控制面板,“紫外灯管是新换的,强度波动在正负5%以內。”

“开始。”

紫外灯亮了,发出幽幽的紫光。

八秒钟,很短。

但在场所有人,都觉得这八秒钟,像一个世纪那么长。

曝光完成。

晶圆被送入显影槽。

显影液是弱碱性的,会溶解未被紫外线照射的那部分胶膜,露出下面的硅。

这个过程,就像洗照片,曝光的地方硬化保留,没曝光的地方溶解消失。

一分钟,轻轻摇晃。

陈启明取出晶圆,用去离子水冲洗,然后吹乾。

他再次把晶圆放到显微镜下。

所有人都围了过来,屏住呼吸。

视野里,出现了图案。

歪歪扭扭的线条,边缘不齐,有的地方宽,有的地方窄,土胶的粗糙一览无余。

但是,线条是连续的!

没有断线,没有短路,关键的电晶体区域、连线区域,都清晰可见。

“成了。”

陈启明直起身,声音有点抖,“第一道光刻,成了。”

车间里响起一片压抑的欢呼声。

但很快又安静下来,大家都明白,这只是一小步。

后面还有几十步。

蚀刻、扩散、离子注入、金属化、钝化、划片、封装、测试……每一步,都像走钢丝。

赵四下令:“按计划,二十片晶圆,全部走一遍流程。

不要急,一步一个脚印。”

车间里再次忙碌起来。

每个人都知道自己的岗位,都知道该做什么。

三个月的高强度磨合,让这支临时组建的队伍,有了惊人的默契。

时间在流逝。

窗外的天,从漆黑转为深蓝,又透出鱼肚白。

上海醒了,城市的喧囂从远处传来。

但车间里的人,仿佛置身另一个世界,一个只有硅片、光刻胶、化学试剂和机器嗡鸣的世界。

上午十点,二十片晶圆全部完成了前道工序。

它们躺在净化柜里,表面已经布满了复杂的电路图案,只是还看不出是晶片,要等金属化完成后,铝线把各个电晶体连接起来,才能形成完整的电路。

“金属化准备。”

陈启明声音沙哑,他已经连续工作了十八个小时。

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