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第311章 第一片亮起的硅(第2页)

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但车间里所有人都知道,这瓶东西,关係到未来三天二十片晶圆的命运,关係到“长城1號”

能不能从图纸变成实物,关係到他们这三个月没日没夜的挣扎,到底有没有意义。

“开始涂胶。”

陈启明下了指令。

第一片晶圆,直径三英寸,表面拋光得像镜子一样的硅片,被小心地固定在涂胶台的吸盘上。

操作工小周今年才十九岁,三个月前还在车间学钳工。

现在,他的手要控制这台老旧的涂胶机,在硅片上涂出厚度只有一微米、均匀得像湖面一样的光刻胶膜。

他手在抖。

“小周,”

赵四走到他身边,“还记得我第一天跟你说的话吗?”

小周抬起头,脸色发白:“记得……您说,我洗的每一片硅片,將来可能用在飞弹上,用在飞机上……”

“不是可能。”

赵四纠正他,“是一定。

你今天涂的这片胶,会成为中国第一颗自主晶片的一部分。

將来这颗晶片用在哪里,做什么,都从你这一涂开始。”

小周深吸一口气,用力点头:“赵总工,我……我尽力。”

“不是尽力。”

赵四看著他,“是必须。

相信自己,相信这三个月你练的那几千遍。”

小周咬紧牙关,按下启动钮。

吸盘旋转起来,越来越快。

光刻胶从滴管落下,在离心力作用下迅速摊开,形成一层薄薄的膜。

转速、温度、时间……所有参数,小周已经烂熟於心。

涂胶完成。

薄膜均匀,没有气泡,没有条纹。

“漂亮!”

陈启明凑到显微镜前看了一眼,忍不住讚嘆。

小周这才发现自己后背全湿透了,腿一软,差点坐地上。

旁边的老师傅赶紧扶住他,拍拍他的肩:“小子,行啊!”

这只是第一步。

涂胶、前烘、对准、曝光、显影、后烘……光刻这一道工序,就有七个关键步骤。

每个步骤都可能失败,而一旦失败,这片晶圆就废了,三个月的等待,无数人的心血,都废了。

陈启明亲自操作光刻机。

这台六十年代的东德老设备,经过张卫东团队的改造,加装了简易的数控系统。

但核心的光学系统还是原来的,解析度有限,对准精度也有限。

“掩膜版对准。”

陈启明眼睛贴在显微镜上,手轻轻转动微调旋钮。

掩膜版上,是“长城1號”

的全部电路图案。

那是几十个工程师,用放大镜和刻刀,在玻璃板上一点一点刻出来的。

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