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真空蒸镀机是老设备，故障率高。
张卫东带著两个人，已经提前检修了三遍。
“真空度达標。”
“铝丝纯度检测通过。”
“基片温度稳定。”
“可以开始。”
铝丝在高温下蒸发，在真空环境中沉积到硅片表面，形成一层极薄的金属膜。
然后，通过光刻和蚀刻，把这层膜刻成需要的连线图案。
这个过程，对温度和真空度的控制要求极高。
温度差几度，真空度差一点，铝膜的附著性就会出问题，导致连线断裂或短路。
机器开始运转。
透过观察窗，可以看见铝丝在高温下慢慢熔化、蒸发，在硅片表面凝结成一层银白色的薄膜。
很美，像星空。
一个小时后，第一批五片晶圆完成金属化。
“快检。”
陈启明急声道。
检验员小吴拿著探针台，在每片晶圆的测试结构上测量接触电阻。
数据一个个报出来：
“接触电阻，1.2欧姆，合格。”
“1.5欧姆，合格。”
“0.8欧姆，合格。”
“3.6欧姆……偏高。”
“1.1欧姆，合格。”
五片里有四片合格。
“可以接受。”
赵四点头，“继续。”
上午十一点，所有晶圆完成金属化。
二十片里，有十六片通过了快检。
“划片。”
划片机是把整片晶圆切割成一个个小方片，每个小方片，就是一个管芯。
这台设备精度要求更高，刀片转速、进给速度、冷却液流量，每一个参数都要精確控制。
一片晶圆上有上百个管芯。
一刀切偏，可能废掉好几个。
操作划片机的是老工人孙师傅，干这行二十年了。
他戴上老花镜，调好参数，按下启动键。
刀片高速旋转，发出尖锐的鸣响。
晶圆在刀片下缓缓移动，被切割出一条条整齐的划道。
一片，两片，三片……
中午十二点，所有晶圆划片完成。
一千多个管芯，像整齐的士兵，排列在承载膜上。
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