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第133章光子载流晶片成功问世(第3页)

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收的。

他回了条文字消息:

“恭喜捡漏。

我这段时间有重要的事要忙,珠宝店的事得靠你自己了。

开业那天我保证到场。”

发完,把手机扣在控制台上,继续盯著屏幕。

离子束刻蚀机正在对沉积完激子材料的晶圆进行图形化。

亚纳米级的离子束在精密电磁场的控制下,像最顶级的雕刻师,在晶圆表面刻画出复杂的电路图案。

这一步的精度要求高到变態。

传统光刻机需要多重曝光、浸润式技术,才能勉强达到几纳米的线宽。

而离子束刻蚀——直接跳过光刻步骤,用带电粒子轰击材料表面,进行物理刻蚀。

精度更高。

可控性更强。

最关键的是——

完全绕开了光刻机。

李亦辰看著屏幕上实时反馈的刻蚀深度数据。

零点五纳米。

线宽零点五纳米。

沟槽深度三纳米。

误差控制在正负零点零一纳米以內。

完美。

——

又是一个星期过去。

李亦辰下巴上的胡茬又冒了出来,眼眶底下那圈青黑比一个月前在三十二楼熬超算时还要深。

但他整个人却处在一种极度亢奋的状態里。

控制台屏幕上,最后一道工序——金属互联层沉积——正在进行。

银白色的金属材料通过溅射工艺,均匀覆盖在刻蚀好的沟槽內,形成晶片內部的导线网络。

进度条走到百分之百。

机械臂將完成所有工序的晶圆从沉积腔室里取出,转移到切割台。

金刚石刀片落下。

晶圆被切割成指甲盖大小的单个晶片。

机械臂夹起其中一枚,送到李亦辰面前的控制台上。

李亦辰伸出手。

那枚晶片轻轻落在他掌心。

冰凉。

重量轻得几乎感觉不到。

银灰色的外壳,表面光滑如镜,边缘切割得极其平整。

在无影灯下,泛著一种內敛的、金属特有的哑光。

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