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第309章 第一道光(第2页)

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“机器校准过吗?”

“校准了三次。”

张卫东说,“我和刘工亲自调的。

光学系统我们也拆开清洁过,镜片没问题。”

“光刻胶呢?”

“按配方配的。”

林雪接口,“我们试了三种配方,这种效果最好,但也……”

赵四沉默了一会儿,环视车间。

这里条件確实简陋。

洁净度最多千级,温度控制靠几台老空调,湿度完全看天气。

而他们要做的,是在硅片上刻出宽度只有几微米的线条。

这就像用生锈的刻刀在头髮丝上雕刻。

“把所有人都叫来。”

他忽然说,“开个现场会。”

十分钟后,车间里站了二十几个人。

除了北京来的核心团队,还有上海厂本来的技术工人、新招的学徒,以及几个从其他单位借调来的专家。

大家都站著,没人坐。

空气闷热,但没人擦汗。

“情况大家都看到了。”

赵四开门见山,“良品率5%,等於100片里只有5片能用。

这个成本,我们承受不起。

更关键的是,如果连最简单的光刻都过不了关,后面的扩散、离子注入、金属化,更没戏。”

他顿了顿,目光扫过每个人:“现在不是互相埋怨的时候,也不是退缩的时候。

我们需要找到问题,解决问题。

每个人,说说自己的看法。

从光刻胶开始。”

负责光刻胶的是个中年女技术员,姓王,以前在化工厂工作。

她有些紧张:“赵总工,我……我都是按配方配的。

原料是咱们能搞到的最好的,配比也是反覆核对过的。”

“原料批次稳定吗?”

“不稳定。”

王技术员实话实说,“这批重铬酸盐是天津產的,纯度標的是99%,但实际怎么样……我们没仪器测。”

“显影液呢?”

“显影时间控制不准。”

一个年轻工人举手,“咱们的定时器是机械的,误差大。

有时候差几秒钟,效果就完全不一样。”

“还有温度。”

另一个说,“车间温度波动大,光刻胶的感光性会变。

中午热的时候和晚上凉的时候,曝光时间得调。”

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