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上海的七月,热得像蒸笼。
赵四走下火车时,扑面而来的不只是热浪,还有一股混合著机油、铁锈和潮湿空气的工业味道。
上海元件三厂。
前身是生產电子管的国营厂,现在被划给了748工程,作为第一条4位微处理器生產线的筹建地点。
厂门口掛著新牌子:“748工程上海实验基地”
。
字是刚刷的,白底红字,在烈日下有些刺眼。
林雪已经在门口等著了,晒得满脸通红,工装后背湿了一大片。
“赵总工!”
她小跑著迎上来。
“怎么是你来接?陈启明他们呢?”
赵四把简单的行李递给她。
“在车间,出事了。”
林雪压低声音,“第一炉光刻,良品率……不到5%。”
赵四心里一沉:“走,去看看。”
车间是原先的电子管装配车间改造的,窗户都封死了,装了简易的空调和除尘设备。
一走进去,一股更复杂的气味扑面而来。
化学试剂、臭氧、还有金属烧灼后的焦味。
陈启明、张卫东都在,还有上海本地的刘工,几个人围在一台老旧的光刻机前,脸色都很难看。
“赵总工。”
陈启明看见他,嗓子哑得厉害。
“具体什么情况?”
赵四没废话,直接走到工作檯前。
台上摊著几片晶圆,在日光灯下泛著诡异的彩色光泽。
他拿起一片对著光看。
上面刻蚀的电路图案模糊不清,有的地方线条断了,有的地方粘连在一起,像小孩子拙劣的涂鸦。
“这是第一炉?”
赵四问。
“第三炉了。”
刘工苦著脸,“第一炉全军覆没,第二炉好点,有3%能用。
这炉……最多5%。”
“问题出在哪?”
“不知道。”
陈启明抓了抓头髮,头髮上沾著不知名的化学粉末,
“光刻胶不均匀?曝光时间不对?显影液浓度有问题?都有可能。
我们挨个试,试了三天,还是这样。”
赵四放下晶圆,走到光刻机前。
这台机器是六十年代初从东德进口的,原本用於生產简单的电晶体。
控制面板上的德文標籤已经磨损,几个旋钮的刻度都模糊了。
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