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每一个坑洞的中心,都有一个极其微小的、发出不同亮光的颗粒物。
“看到了吗?”
沈永华指著屏幕,“这不是化学腐蚀,这是物理轰击!
是等离子体在刻蚀过程中发生了『辉光放电,把你们那个『z合金內衬腔体里的金属原子,像炮弹一样打了出来,砸在了硅片上!”
他切换到能谱分析模式,一条条谱线跳出。
“看到了吗?这些亮点,成分是『z合金里的铬和镍!
你们的光刻胶是完美的,但你们的机器,在杀掉你们的晶片!”
沈永华的分析,劈开了所有的迷雾。
问题不是出在软体(化学品)上,而是出在硬体(机器)最核心的运行机制上!
林为民教授喃喃道:“等离子体辉光放电……这是因为腔体內的电场不均匀,或者气压出现了瞬时波动……”
“是的。”
付成终於开口了,他的眼神无比锐利,仿佛已经看到了那头失控的野兽。
“沈教授为我们找到了病根。
这台机器,我们用尽了办法去改装它的身体,但它的『神经系统太老旧了。
它无法感知到万分之一秒內电场的变化,也无法察觉到千分之一帕的气压脉动。
这些我们根本检测不到的微小波动,在微观世界里,就是一场场灾难性的风暴。”
“那……那该怎么办?”
张伟焦急地问。
“给它换一套现代化的『神经系统。”
付成转身,走到白板前,写下几个词。
“高精度压力传感器,响应速度要达到毫秒级。”
“精密温度计,能监测0.01度的腔体温度变化。”
“还有,一个能连接这一切,並进行实时运算和调整的计算机控制单元。”
“这……”
张伟喃喃道,“这简直就是……自动化工业的顶配了。”
“国內现在,有这样的设备吗?”
钱立人教授问。
付成沉默了片刻,脑海里闪过系统资料库中的信息。
“现成的,没有。
但有一个地方,一定能找到我们需要的东西,或者找到能提供这些东西的人。”
他转过身,目光扫过每一个人,最后重重地说道:
“香江。
那里的电子展,马上就要开始了。”
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