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然而,付成却在第一时间赶到,他和钱立人教授一起,挤到了显微镜前。
付成的脸色,在看到图形的瞬间,就沉了下来。
“把图形放大到最大倍率。”
他冷静地说道。
当技术员將显微镜调到极限时,所有人的笑容都僵在了脸上。
原本应该清晰锐利的线条边缘,布满了毛刺和断点。
许多本该连在一起的线路,中间出现了微小的缺口。
更糟糕的是,这种缺陷,是隨机分布的。
同一片晶圆上,有的地方图形还算完整,有的地方则完全不能看。
“这……这是怎么回事?”
秦雪的脸色瞬间变得苍白。
钱立人教授扶了扶眼镜,表情凝重:“是良率问题。
而且,是非常严重的良率问题。
按照这个图形质量,做出来的晶片,十万个里面,也未必能有一个是好的。”
“不可能!”
秦雪无法接受这个结果,“我们的配方,每一个步骤都是严格按照付成的资料来的,怎么会这样?”
付成沉默了片刻,他指著显微镜下的一个断点,问道:“秦雪,我们用的酚醛树脂,提纯度是多少?”
秦雪回答:“是国產的酚醛树脂,纯度99.5%。”
“感光剂dnq呢?”
“是我们自己合成的,经过了三次重结晶提纯,用现有的设备检测,纯度应该在99%以上。”
“溶剂呢?”
“也是国產的色谱纯级別。”
付成摇了摇头。
“问题,就出在这里。”
他的声音不大,但每一个字都像锤子一样,敲在秦雪的心上。
“对於日常生活来说,99.5%的纯度已经非常高了。
但是对於微电子工业,对於光刻胶来说,这还远远不够。”
“那0.5%的杂质,可能包含了上百种不同的金属离子、有机物小分子。
它们在曝光和显影过程中,会隨机地干扰化学反应,造成我们看到的这些缺陷。”
“索尼能做到0.8微米,他们用的原材料,纯度至少是五个九,也就是99.999%以上。
有些关键原料,甚至要达到六个九、七个九!”
五个九!
这个数字,让在场所有人都倒吸了一口凉气。
以他们现有的国產原料和提纯设备,別说五个九,能稳定做到三个九(99.9%)都已经是极限了。
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