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第42章 军工大佬亲自撑腰(第3页)

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也就是说,你想提高刻蚀速率,就必须增加功率,但这同时也会提高离子轰击能量,损伤晶圆。

我们称之为『左脚踩右脚的困境。”

“而我们的方案,核心思想只有一个词——解耦。”

“我们通过外部施加的高速脉衝多极磁场,將等离子体『抓起来,约束在一个特定区域。

同时,我们通过独立控制晶圆基座的射频偏压,来精確调节轰击晶圆的离子能量。

这就好比,我们用一只手控制『子弹的数量,用另一只手控制每一颗『子弹的威力。

两只手,互不干扰,独立调节……”

台下的专家们,都是顶级聪明人,立刻就听懂了这套“解耦”

思想的顛覆性所在。

报告结束后,坐在第一排的一位戴著金丝眼镜的老院士,率先举起了手。

“小同志,我有一个问题。

你的理论非常精彩,但磁场约束等离子体,是核聚变领域才用的技术,极不稳定。

你们如何解决『磁镜像效应和『漂移不稳定性带来的等离子体逃逸问题?”

付成微微一笑,按下了投影仪的下一页。

幕布上,出现了一套复杂的、基於“二级绝热不变量”

的约束方程。

“这位前辈,您问得非常好。

这个问题的答案,我们要感谢一位物理学天才的启发。”

他看了一眼角落里的叶文洁,“我们並没有试图完全『消灭逃逸,而是通过这套『动態校正算法,在每个模擬步长中,对逃逸概率进行补偿。

就像一个水桶,我们不是把所有的洞都堵死,而是在旁边放了一个水龙头,漏多少,就补多少,从而实现一种动態的平衡……”

他的回答,让那位老院士露出了满意的笑容。

然而,就在这时,会场后排,一个声音响了起来。

“理论说得天花乱坠,仿真图画得再漂亮,也只是纸上谈兵。

请问付成同学,你们的原型机在哪里?你们的实验数据在哪里?据我所知,你们连一块像样的晶圆都没刻出来过吧?”

付成循声望去,只见华清大学行政总办的王副主任,正抱著手臂,一脸讥讽地看著他。

王副主任身边,还坐著一个西装革履的中年人,眼神锐利。

付成注意到,他的胸牌上写著——东方工业集团,投资部总监,刘胜利。

刘进的亲戚?付成心里一动。

王副主任见付成不语,笑得更得意了:“各位专家领导,据我了解,这个项目连学校的正式立项都还没通过,经费都还没拿到。

一个连学校內部都无法取得共识的『构想,就拿到国家级的研討会上来,是不是太儿戏了?这不是在浪费各位宝贵的时间吗?”

会场里,开始响起窃窃私语。

是啊,没有实物,没有数据,说得再好听,也只是空中楼阁。

就在这尷尬的时刻,礼堂的大门突然被推开了。

一个穿著军绿色旧大衣,身材高大,面容坚毅的老者,在一群人的簇拥下,大步走了进来。

“谁说这个项目没有得到支持?”

老者的声音洪亮如钟,“我今天来,就是要告诉大家,这个项目,我们军工『863计划的专家组,原则上通过了!”

他转向付成,露出一丝微笑。

“付成同志,还记得我吗?我是马智文的老领导,陈建国。”

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