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“先別管国际上。”
赵四说,“咱们的目標是做出能用的晶片,不追求性能多好。
十微米的线条,对4位处理器来说,够不够?”
他看向陈启明。
陈启明皱眉想了想:“4004的最小线宽是8微米。
如果咱们放宽到10微米……晶片面积会大一些,但功能应该能实现。”
“那就先解决有无问题。”
赵四拍板,“王工,你带几个人,全力攻关重铬酸盐明胶。
目標是:一、配方稳定,批批能用;二、解析度儘量高;三、寿命儘量长。”
“好……我试试。”
王技术员压力很大。
“不是你一个人。”
赵四说,“林雪,你配合王工,负责测试。
每配一批胶,马上上机试,记录效果。
张卫东,你改造光刻机的曝光系统,提高紫外光强度,补偿感光度不足。”
“明白!”
“陈启明,你调整设计。”
赵四继续说,“既然工艺能力有限,咱们就把设计放宽。
线宽统一加到10微米,间距也放宽。
先保证能做出来,再谈性能优化。”
“行。”
任务分下去,车间又动起来了。
但气氛不一样了。
之前是为提高良品率奋斗,现在是为生存奋斗。
王技术员的小组当天就配了五批胶,每批配方稍有不同。
重铬酸盐浓度、明胶比例、水浴温度、搅拌时间……全都记录在案。
林雪带著人一批批试。
效果確实不理想。
有的胶涂不均匀,有的曝光后根本硬不起来,有的显影时整片脱落。
到了下午,终於有一批勉强能用。
在硅片上曝光后,能形成模糊的图案,虽然线条边缘像狗啃的一样,但至少是个图案。
“赵总工,您看。”
林雪把晶圆递过来。
赵四对著光看。
线条很粗糙,有的地方宽,有的地方窄,但连续性是好的。
“能蚀刻吗?”
“试了,能。”
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