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第802章 欧皇妲 我不太懂光刻胶(第2页)

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別看就差0.7nm,这背后涉及的是分子量分布和光酸扩散长度的平衡问题。

我带著团队试了三个月,调整了三十多种聚合物配比,始终突破不了。”

程新彤有些失落,她没想到自己带领的团队,还真就迟迟没法解决这个问题。

自己好歹从校园出来后,也从事这方面的研究二十年。

结果科技就是这样,突破不了,就是没法突破。

稍作停顿后,她继续往下分析。

“第三,敏感度。”

程新彤的声音带上了一丝疲惫,“13nm製程用的光源波长极短,能量密度很高。

我们的光刻胶要么敏感度不够,曝光时间太长影响產能;

要么敏感度上去了,但又会出现严重的產酸扩散,导致图案模糊。

这个平衡点,我找了国內三个顶尖团队会诊,都没给出可行方案。”

“我也请教过导师……导师一时间也没有什么建议。”

程新彤苦涩的说道,“只说需要多尝试,用时间来试错。”

程新彤面露无奈,时间,她现在最缺的就是时间!

自从跟光电集团合併后,强强联合,公司的业务方面需要她担心的並不多,因此研究资金也丰裕了不少。

可是如果再迟迟没法突破。

跟不上樱花国的前沿光刻胶步伐,那恐怕將会错过这个千载难逢的机会。

特別是紫晶工厂作为自研光刻机的机构,一旦对南彤光电失望,选择支持其他的光刻胶,那缺乏后续持续资金的投研,恐怕將会被淘汰。

旁边一位戴眼镜的男研究员补充道:“程总,还有缺陷率的问题。

上周测试的批次,显影后缺陷密度还在30个平方厘米以上,紫晶那边要求低於5个。”

程新彤点了点头,看向欧皇妲:“小师妹你看,解析度、lwr、敏感度、缺陷率,每一个都是死结。

现在紫晶那边的採购部已经放话了,如果三个月內拿不出达標的小批量样品,他们就要考虑在跟其他的厂家合作,支持其他厂家的光刻胶研究。

甚至……他们要自己展开研究。

师姐我也是没办法了。”

程新彤无奈的说著。

会议室里安静了几秒。

秦嵐在一边如听天书,但她心里觉得:“这不会是紫晶工厂为了刺激新彤故意放出狠话吧?目前国內最顶级的就是新彤,再支持其他厂家,那不是要耗费更多时间么。”

欧皇妲放下奶茶杯,走到大屏幕前,目光扫过那些密密麻麻的参数表格和分子结构式。

“师姐,你们的聚合物骨架用的是甲基丙烯酸酯类吧?”

欧皇妲忽然开口。

程新彤跟著她的目光,立即回答道:“对,pmma衍生物,目前国內最成熟的体系。”

“光酸產生剂呢?三芳基硫鎓盐?”

“是。”

“淬灭剂用的三级胺?”

“没错。”

程新彤眼睛亮了一下,“小师妹你怎么一眼就看出来了?”

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