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第728章 只有材料的进度最迅速(第1页)

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哪怕是拥有诸多支持,拥有大量的资源,研製光刻机依旧是困难重重。

他指著光学系统,说道:“duv光刻机需要由15-20个直径200-300mm的透镜组成的透镜组;

euv光刻机则需要由20多块“锅底大”

的镜片串联组成的反射系统。

镜面表面起伏要求极其严苛,如30cm长的镜子起伏不超过0.3nm!”

“这一项技术,目前在国內,还没有能实现。”

“更別说对光学元件进行原子级精度的拋光和高精度镀膜……”

郭汝京一想到这些完全没有储备的技术,就觉得头脑发热。

单一研製光刻机的国家,基本不存在。

而现在,紫晶工厂要做的,就是突破这全球的限制,完全依赖国內的厂家,或者自身研製,造出一台光刻机来!

“0.3nm的起伏……这,郑稳都摸不出来吧?”

蒋新松有些咋舌。

“嗯,我已经联繫了国內几家光学顶尖的实验室,諮询了一番,但暂时还是没有消息。”

郭汝京指著上面任务里的备註,写著正在求助,待攻克。

蒋新松理了理头绪,然后看向运动模块,问道,“工件台与掩模台的进度,怎样了?”

“精密运动与定位系统啊……”

郭汝京又点开另一个模块,面露难色的说道:“情况也不太妙啊!”

他一一点开里面的详细任务,这个蒋新松倒是不需要他的解释,就完全能看懂。

製造能够在高速运动下(如扫描曝光)实现亚纳米级定位精度的双工件台系统。

其定位精度需小於10nm,甚至要达到3nm以內的套刻精度要求。

研发应用雷射干涉仪、光柵尺等超精密测量传感器,以及直线电机、压电陶瓷等驱动器,实现对晶圆和掩模版的实时位置反馈与控制。

这些都是超精密的器件。

如果只是一般的光柵尺,或许万八千就能买到,但是要放在光刻机上,显然不够。

蒋新松看著下面一堆红色的待开展任务,也不禁皱起眉头,“这需要更高性能的点击,才能实现运动的精度。”

“而因为灯塔国的制裁,发那科、西门子等大集团,都已经中断了咱们採购性能级以上的电机……”

他觉得十分棘手。

现在的情况,真的就是,几乎是一颗螺丝,都得自己造,人家都不肯卖给你。

而这些,在国內又没有替代品。

特別是高端电机,目前初苗集团的德多电机,就已经是国產电机的领军人物了。

压根找不到第二家能直接买来使用的。

“哎,还是得等老钱发力啊!”

郭汝京感慨说道。

好在这条路也不是只有他一个人,整个光科技项目,牵扯进来的团队不下百个,上万名工程师,都在研究著。

其中还有不少高校的团队,也在接到紫晶工厂的委託研究任务后,加入到研究行列中来。

而除了核心的系统外,还有整机集成与软体控制。

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