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【好奇的问一下，光刻机的避震，还是用的弹簧吗？】
【这个问题我可以回答你，光刻机当然用的不是弹簧这种low比东西，至于用的什么，我也不知道§（￣▽￣）§】
【高性能主动隔振装置！
我们公司就有这个卖，需要吗？价格不贵，几十万一台而已。
】
【？？？？？】
【卧槽，还不贵？】
【想啥呢，这种几十万的，顶多用于光学仪器上，能用于光刻机上的避震，估计最少都是几百万起步的。
】
【人家一台光刻机卖一个多亿，米金！
几百万的避震，那是小意思好吗？】
韩元看了眼弹幕，笑道：“隔振装置一般分成两种。”
“第一种是被动隔振，像弹簧、橡胶、海绵、泡沫等这些都属于被动隔振装置或材料。”
“这些装置或材料通过减小传递到接受结构的振动强度来实现减震，有着结构简单、易于实现、工作可靠、不需要额外消耗外界能源等优点”
“但缺点是避震效果一般，对于高精密的仪器比如光刻机或者光学透镜来说基本没什么用。”
“第二种则是主动隔振装置。”
“这种装置其实就是一个个的动作器，但这些动作器能根据检测到的振动信号，应用一定的控制策略驱动作动器，从而达到抑制或消除振动的目的。”
“我手中的图纸上绘制的，就是一种高性能的主动隔振装置。”
说着，韩元也来到了合金冶炼厂，推开大门，手中的图纸铺开，展示给观众看。
从最上面的整体结构图来看，绘制出来的主动隔振装置就像一张床垫一样。
翻开第二页、第三页、第四页直播间里面的观众才看到里面精密无比的零件构造。
繁多的零件上都标注着对应的名字，有传感器、测振仪、空气弹簧、作动器、驱动器、激动器等等等。
偌大的白纸上，密密麻麻的全是各种复杂的线条结构图和标注，看的直播间里面的观众眼花缭乱的。
【好复杂！
】
【一个避震器而已，用得着这么多的零件吗？】
【空气弹簧？为啥主动避震器里面会这玩意？它不是被动隔振吗？】
【谢邀，人在直播间，蹲了快两年了，终于能有看得懂了。
这个问题我来回答！
】
【续：主动隔振技术通常包含被动隔振组件和主动隔振器，被动隔振组件（空气弹簧这种）负责消除高频振动和支撑负载功能，而主动隔振技术拥有优秀的低频隔振能力，负责消除低频（05~10hz）的外部振动，适用于超精密测量场景。
】
【楼上这么专业？】
【不，他不是专业，他是百度的，这段话和百度的一模一样！
】
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