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第174章 光刻成功(第1页)

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申城电科所车间内。

程实指着图纸上的关键部位:“生产这款芯片,首先要解决硅片提纯问题。

必须采用区熔法提纯,把硅片纯度提高到99以上,也就是9个9的纯度。

北京化学试剂研究所的光刻胶已经送来了,纯度没问题,大家放心用。”

一位负责芯片生产的专家问道:“程实同志,008微米制程,咱们的光刻机能不能达到要求?”

“能。”

程实肯定地说,“咱们的光刻机采用135纳米极紫外光光源,数值孔径055。

单次曝光分辨率就能达到8纳米,生产008微米的芯片完全没问题。

而且它每小时能处理400-500片晶圆,效率很高。”

他拿起笔,在图纸上标注:“光刻环节,要采用多重曝光技术,确保电路图案的精度。

蚀刻环节,用等离子体蚀刻技术,控制好蚀刻深度和均匀性,不能有丝毫偏差。

镀膜环节,要采用原子层沉积技术,保证薄膜的厚度均匀和附着力。”

谢三元皱了皱眉:“这些工艺要求都很高,工人能熟练操作吗?”

“能。”

程实看向谢三元,“之前的培训不是白做的,而且我会在车间现场指导。

另外,生产过程中,必须严格控制车间环境,温度保持在23c±2c,湿度45±5,空气中的尘埃粒子数每立方米不能超过100个。”

他强调道:“这款芯片是雷达的核心,性能直接决定了雷达的探测距离和抗干扰能力,绝对不能出任何差错。

每一个环节都要进行三次检测,第一次是硅片提纯后检测,第二次是光刻蚀刻后检测,第三次是封装测试后检测,不合格的产品一律销毁,绝不允许流入下一道工序。”

一位年轻的工程师问道:“程实同志,射频组件需要的芯片和这个是同一款吗?还是需要单独生产?”

“是同一款芯片。”

程实回答,“这款xj-01芯片既能作为雷达的核心芯片,也能用于射频组件。

只要批量生产这款芯片,就能同时解决两个问题。

另外,射频组件需要的其他零件。

元件五厂已经能生产,谢厂长,你安排人同步生产射频组件的其他零件,等芯片出来,立刻组装。”

谢三元连忙点头:“没问题!

我现在就去安排,让车间同步生产射频组件的零件,确保芯片一到就能组装完成。”

程实看着众人,语气沉重而有力:“同志们,战鹰1号是国家重点项目,机载雷达更是战鹰1号的眼睛。

现在,国家需要我们,军队需要我们,我们必须在一个月内,把这款芯片生产出来,送到101所。”

他顿了顿,继续说道:“以前,西方列强卡我们的脖子,不让我们拥有先进技术,不让我们发展壮大。

现在,我们自己造出了光刻机,造出了超级计算机,还能造出高精端芯片。

这说明,只要我们团结一心,刻苦钻研,就没有我们做不到的事情!”

“我们一定全力以赴!”

所有专家和管理人员都站起身,眼神坚定,语气激昂。

“好!”

程实一拍桌子,“现在,会议结束。

王志所长,你负责芯片生产的技术指导。

谢三元厂长,你负责车间管理和物资保障。

其他同志,各司其职,坚守岗位。

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