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第1137章 灵光一现(第3页)

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“废弃?!”

查理盯著这行字,不明所以。

这条看似失败的岔路,被彻底放弃的真正原因是什么?

……

龙国。

光源实验室。

“砰!”

伴隨著刺目的白光和焦糊味,第三块价值千万的collector镜在高功率雷射的轰击下瞬间熔毁。

“报告!

锡滴靶材气化不均,镜面烧蚀深度確认!”

操作员的声音带著痛惜。

李阳面无表情,目光扫过实时数据:

“峰值功率306kw,锡滴轨跡偏移0.05毫秒,冷却系统瞬时流量下降5%。”

曹启东默默调出对比图。

“功率波动超出asml歷史峰值指標287%。”

dpp方案的瓶颈:高功率雷射、锡滴精確供给、光学元件防护。

三重枷锁坚如磐石,常规路径似乎已至绝境。

李阳离开光源实验室,径直走向“龙神堆”

主控中心。

巨大的屏幕上,代表等离子体湍流的mhd曲线蛇形扭动。

控制台那边,一个不起眼的二级报警標识突然闪烁。

“报告!”

“堆芯边界区捕获到瞬態x射线脉衝,光谱分析中…”

分析员语速飞快,几分钟后,再次响起他的声音。

“確认!”

“峰值波长…13.5纳米波段附近!”

13.5纳米?!

euv光刻的核心波长!

李阳眼神瞬间一凝,疾步上前,调出原始波形及磁场位形。

“触发区域?磁场配置?”

“內约束层边缘,b场第四象限湍流抑制节点,当时正在施加特殊梯度磁纹波!”

屏幕回放清晰显示:

特定高能粒子轨跡束流与湍流等离子体短暂互动的瞬间,爆发出的强烈x射线脉衝,其主光谱带精准覆盖13.5纳米区域。

同步辐射原理!

高能粒子在强磁场偏转时释放的能量!

一个念头,凭空而起,在李阳脑海中,渐渐完善……

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